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產(chǎn)品型號(hào)
廠商性質(zhì)
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| 品牌 | Newport/美國 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
ZVR 通過沿著旋轉(zhuǎn)平臺(tái)外圓周的三個(gè)點(diǎn)（以 120 度分開）剛性地支撐和驅(qū)動(dòng)有效載荷。常規(guī)設(shè)計(jì)在旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心使用一個(gè)單個(gè)凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯(lián)導(dǎo)軌和驅(qū)動(dòng)機(jī)制的 Newport 的三點(diǎn)設(shè)計(jì)具有很多優(yōu)點(diǎn)，非常適用于輕微到不平衡載荷應(yīng)用（例如，晶片探測(cè)），可以沿著卡盤的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負(fù)載造成的角變形降低到最小程度，并且在垂直運(yùn)動(dòng)期間也不存在彎曲現(xiàn)象。
ZVR 設(shè)計(jì)的一個(gè)重要性能是含有一個(gè)穿過轉(zhuǎn)臺(tái)中心的 50 mm 通光孔徑，以支持通過電纜、線路和其他工具。
ZVR 具有一個(gè)調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
ZVR 具有一個(gè)調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān)，使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
Compatible motion controllers for ZVR-PC are:
·XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
·SMC100 Motion Controller: SMC100CC for ?-axis and SMC100PP * for Z-axis.
* Minimum Incremental Motion for Z-axis is 0.25 µm with SMC100PP controller.
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